Organische oberflächenemittierende Laser mit vertikaler Kavität: Entwicklung neuer Design und Herstellungsansätze

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Diese Arbeit behandelt die Herstellung organischer oberflächenemittierender Laser mit vertikaler Kavität für den blauen bis ultravioletten Spektralbereich. Das Ziel ist die Herstellung zweier verschiedener OVCSEL mit neuartigen Ansätzen im Laserdesign und der Prozessierung. Die aktive Region wird entweder durch Lithographie oder die nachträgliche Infiltration des organischen aktiven Materials in eine bestehende dielektrische Struktur lateral eingeschränkt. Bei letzterem Ansatz ist das organische Material als hochbrechende Schicht Bestandteil der Bragg-Spiegel. Die eingesetzten Materialien werden hinsichtlich ihrer mechanischen Spannungen, optischen Eigenschaften und ihrem Verhalten unter reaktiven Ionenätzen untersucht. Die realisierten OVCSEL werden optisch angeregt und charakterisiert.