Optical Measurement System for the Machine Integrated Monitoring and Automation of Laser Micro Machining Processes

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In dieser Arbeit wird ein Konzept für die Überwachung von Laserprozessen basierend auf die kurzkohärente Interferometrie erarbeitet und implementiert, die eine vielversprechende Lösung für die Automatisierung bei der Lasermikrobearbeitung bietet. Das Konzept wird mittels eines Prototyps in konkreten Fällen mit Bezug zu Hardware bedingten Einflüssen und möglichen industriellen Anwendungen charakterisiert und bewertet.