Molekularkinetische Deutung der Wirkungsweise von Diffusionspumpen

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Auferund von Gültigkeitskriterien wird eezeigt, daß auch auf das Problem der Diffusionspumpe gasdynamische Methoden näherungs­ weise angewandt werden können. Mit den Ergebnissen der gas­ dynamischen Theorie kann das Verhalten der Diffusionspumpe bei verschiedenen AnsaugdrUcken und teilweise verschlossenen Düsen verstanden werden. Unter Zugrundlegung der gasdynamischen Rechnung wird das Pro­ blem der tilrUckströmung und des Saugverl'1ögens von Diffusions­ pumpen behandelt. Dabei wird befriedigende übereinstimmung zwischen Theorie und Experiment eefunden. 12. LITERATURVERZEICHNIS [1] S. Dushman: Scientific Foundations of Vacuum Technique, New York, 1962 l-l. Vlutz: Theorie und Praxis der Vakuum-Technik Braunschwiig, 1965 VI. Gaede: Ann. Phys. 41, 289, 1913 u~d 46, 357, 1915 sowie Z. Techn. Phys. 4, 337, 1923 [4] J. Langrn. uir Phys. Rev. 8, 48, 191r, Gen. EI. ~ev. 10, 1060, 1916, Electr'~an 79, 13 und 579, 1917 R. Jaeckel [ 5 J Zs. Haturforsch 2 A. 666, 1947 und: l\leinste Drucke, ihre Messung und Erzeugung Berlin, Göttingen, Heidelberg 1950 [6J M. Matricon J. Phys. Rad 2, 86, 1931 und 3, 127, 1932 [7J Vgl. z. B. P. Frank und R. v. llises: Differentialgleichungen der Mechanik und Physik Band 11, S. 593, New York und Braunschweig, 1961 73 Vgl. z. B. D. Enskog: Phys. Z. 12, 5 und 33, 1911 [ 8 J oder R. D. Present: Kinetic Theory of Gases, New York, 1958 [9] H. G. Nöller Zs. für angew. Physik 7, 225, 1955 [10J H. G. Nöller Theory of Vacuum Diffusions Pumps in IIandbook of Vacuum Phsics, Vol. I, Part.