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Einfluß von Getterprozessen auf die Eigenschaften von ionenimplantierten integrierten Fotodioden

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Artikelnummer 9783531031330
Autor Höfflinger, Bernd
Einband Kartonierter Einband (Kt)
Sprache ger
Anzahl Seiten 48
Verlag VS Verlag für Sozialwissenschaften
Reihe Fachgruppe Elektrotechnik/Optik
Jahr 19820101

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