Der Einfluss der Brechung auf röntgenographische Spannungsanalysen unter Berücksichtigung der Oberflächenrauheit

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Die wachsenden Anforderungen an die Genauigkeit der röntgenographischen Spannungsanalysen und das Bedürfnis, zunehmend komplexere Spannungszustände zu untersuchen, hat zur Verfeinerung der bestehenden Messmethoden wie auch zur Entwicklung neuer Analyseverfahren geführt. Beispiele für solche Aufgabenstellungen sind die Analyse von steilen Spannungsgradienten und Spannungen in dünnen Schichten. Da bei solchen Untersuchungen oft zur Reduzierung der Eindringtiefe der Röntgenstrahlen in die Probe kleine Strahleinfallswinkel verwendet werden, stellt sich die Frage nach den Einflüssen der Brechung der Röntgenstrahlen an der Probenoberfläche auf das Analyseergebnis. Im Rahmen der vorliegenden Arbeit wurde der Brechungseffekt selbst und die Einflüsse der Brechung auf röntgenographische Spannungsanalysen, insbesondere von Spannungsgradientenanalysen, sowie der Einfluss der Oberflächenrauheit hierauf untersucht.