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Closed-Loop Control of III-V Semiconductor Growth by Combined Spectroscopic Ellipsometry and Reflectgance-Difference Spectroscopy

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46,90 CHF

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Artikelnummer 9783896853684
Autor Ebert, Martin
Einband Kartonierter Einband (Kt)
Sprache eng
Anzahl Seiten 112
Verlag Wissenschaft + Technik Ve
Jahr 2001

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