Charakterisierung von diffraktiv-optischen Elementen
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Die ursprünglich als Diplomarbeit verfasste Schrift
beschreibt den Aufbau eines preiswerten Messplatzes
zur optischen Charakterisierung von
diffraktiv-optischen Mikrostrukturen. Es wird in
diesem Rahmen ein kompletter Messplatz konzeptioniert
und sein Aufbau dokumentiert. Dem zu Grunde liegend
wird zunächst die Fraunhofer-Beugung am linearen
Binärgitter und Bestimmung der Strukturtiefe aus dem
Beugungsbild erläutert. Es wird auf das optische
Messprinzip samt Beispielmessungen eingegangen.
Besondere Beachtung findet die Darstellung der
Implementierung des Messplatzes. Dies führt von der
Konzeptionierung über die Konstruktion bis hin zur
Auswertung mit dem Programm LabVIEW 8.2.
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