Amorphous Silicon

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Amorphe Festkörper wie beispielsweise Gläser weisen keine geordnete Kristallstruktur auf. Eine bedeutende Rolle spielen derartige Materialien, insbesondere amorphes Silicium, in der Halbleiterindustrie, aus deren Blickwinkel sich die Autoren dieses Buches dem Thema zuwenden. Neben Herstellungsmethoden und strukturellen Aspekten werden beispielsweise elektrische und thermische Eigenschaften, photoinduzierte Effekte und Si-Speziallegierungen besprochen. (12/98)